एचिंग गैस का प्रबंधन चैम्बर के बाहर से शुरू होता है
डिस्प्ले निर्माण में ड्राई एचिंग वह प्रक्रिया है जिसमें वैक्यूम चैम्बर के भीतर प्रतिक्रियाशील गैसों को सक्रिय करके इच्छित परत को चुनिंदा रूप से हटाया जाता है। चूँकि कर्मचारी केवल बंद उपकरण देखते हैं, इसलिए उन्हें यह प्रक्रिया पूरी तरह बंद लग सकती है। लेकिन सुरक्षा प्रबंधन की वास्तविक सीमा गैस आपूर्ति भाग और चैम्बर से लेकर वैक्यूम पंप के पहले और बाद के हिस्सों, उपयोग-स्थल न्यूनीकरण उपकरण, साझा निकास डक्ट, केंद्रीय उपचार उपकरण और उत्सर्जन निकास तक फैली होती है। किसी एक खंड में संग्रहण क्षमता या दबाव संतुलन बिगड़ने पर मूल रूप से बंद पदार्थ उपकरण कक्ष और रखरखाव क्षेत्र में पहुँच सकते हैं।
एचिंग निकास केवल वेंटिलेशन का विषय नहीं है। कच्ची गैसों में से बिना प्रतिक्रिया किए गुजरने वाले घटक, प्लाज़्मा में नए बने उप-उत्पाद, सब्सट्रेट या चैम्बर की दीवार से निकले कण, और पंप ऑयल या सफाई प्रणाली से आए पदार्थ एक साथ प्रवाहित होते हैं। इसलिए केवल गैस कैबिनेट डिटेक्टर का सामान्य होना पूरे निकास तंत्र के सुरक्षित होने का प्रमाण नहीं है। प्रक्रिया में प्रयुक्त रसायनों की सूची को निकास प्रवाह आरेख से जोड़ना और सामान्य संचालन, बंदी, पर्ज, असामान्य स्थिति तथा रखरखाव—हर अवस्था में कौन-सा पदार्थ कहाँ जाता है, यह पहचानना आवश्यक है।
अमेरिकी व्यावसायिक सुरक्षा और स्वास्थ्य प्रशासन की सेमीकंडक्टर डिवाइस निर्माण प्रक्रिया संबंधी मार्गदर्शिका बताती है कि ड्राई एचिंग में फ्लोरीन या क्लोरीन-आधारित गैसें सक्रिय होती हैं और उनसे बने वाष्पशील प्रतिक्रिया उत्पाद वैक्यूम प्रणाली के माध्यम से बाहर निकलते हैं। डिस्प्ले एचिंग के निकास की समीक्षा में भी यह सिद्धांत उपयोगी है, किंतु वास्तव में प्रयुक्त पदार्थ, उनकी सांद्रता और उपकरण संरचना को प्रत्येक कार्यस्थल के सुरक्षा डेटा और उपकरण दस्तावेज़ों से दोबारा सत्यापित करना चाहिए।
“एचिंग गैस” नाम के भीतर अलग-अलग प्रकार के खतरे होते हैं
हैलोजन और फ्लोरीन-आधारित गैसों को केवल विषैली गैसों के एक समूह के रूप में प्रबंधित करने से महत्वपूर्ण अंतर छूट जाते हैं। क्लोरीन-आधारित पदार्थों के लिए श्वसन विषाक्तता, तीव्र जलन और नमी के संपर्क में संक्षारक अम्ल बनने की संभावना को एक साथ देखना आवश्यक है। फ्लोरीन-आधारित पदार्थों में सीधे संक्षारण और विषाक्तता के खतरे वाले घटकों के साथ ऐसे घटक भी होते हैं जिनमें तीव्र विषाक्तता की तुलना में वायुमंडल में दीर्घकालीन स्थायित्व और ग्रीनहाउस प्रभाव अधिक महत्वपूर्ण हैं। निष्क्रिय दिखाई देने वाली वाहक या पर्ज गैसें भी बंद स्थानों में ऑक्सीजन की कमी पैदा कर सकती हैं।
OSHA की प्लाज़्मा एचिंग गैस तालिका दिखाती है कि एचिंग किए जाने वाले पदार्थ के अनुसार CF4, C2F6, C3F8, CHF3, SF6, HF, क्लोरीन और BCl3 सहित अनेक पदार्थों का उपयोग हो सकता है। यह सूची खतरों की विविधता समझाने वाला उदाहरण है; यह किसी विशिष्ट डिस्प्ले लाइन में प्रयुक्त मिश्रण या परिचालन दशाओं का संकेत नहीं है। स्थल पर वास्तविक खतरा समूहों का निर्धारण सुरक्षा डेटा शीट, आपूर्ति प्रणाली के आरेख, उपकरण-वार रसायन सूची और परिवर्तन-प्रबंधन अभिलेखों के आधार पर किया जाना चाहिए।
विशेष रूप से, सभी फ्लोरीन-आधारित गैसों का एक ही तरीके से पता नहीं लगाया जाना चाहिए और न ही उनसे समान न्यूनीकरण दक्षता की अपेक्षा करनी चाहिए। अमेरिकी पर्यावरण संरक्षण एजेंसी की सेमीकंडक्टर उद्योग में फ्लोरीनयुक्त ग्रीनहाउस गैसों से संबंधित जानकारी बताती है कि प्रक्रिया में डाली गई कुछ फ्लोरीनयुक्त गैसें बिना प्रतिक्रिया किए निकल सकती हैं और उत्सर्जन की मात्रा गैस के प्रकार, उपकरण, प्रक्रिया दशाओं, उप-उत्पाद निर्माण तथा न्यूनीकरण उपकरण की मौजूदगी पर निर्भर करती है। प्रबंधन मानदंड केवल डाली गई मात्रा तक सीमित न रहकर निकास में वास्तव में बचे पदार्थ और न्यूनीकरण के बाद की उनकी अवस्था को भी शामिल करने चाहिए।
खतरे के आकलन में कम-से-कम निम्न प्रश्नों के उत्तर होने चाहिए:
क्या सामान्य संचालन, चैम्बर सफाई, पर्ज और उपकरण बंद करने के समय निकास के घटक बदलते हैं?
नमी, हवा या अन्य निकास धाराओं के संपर्क में आने पर कच्ची गैसें कौन-सी अम्लीय गैसें या ठोस निक्षेप बनाती हैं?
क्या वैक्यूम पंप और न्यूनीकरण उपकरण के तापमान, दबाव या प्रवाह में बदलाव से अप्रतिक्रियित गैस की मात्रा बढ़ती है?
अलग-अलग उपकरणों के निकास के मिलने पर क्या प्रतिक्रियाशीलता, संघननशीलता, ज्वलनशीलता या संक्षारकता उत्पन्न होती है या बढ़ती है?
क्या डिटेक्टर कच्ची गैसों के साथ अपेक्षित उप-उत्पादों और ऑक्सीजन-कमी के परिदृश्यों को भी पर्याप्त रूप से कवर करते हैं?
स्थानीय निकास में स्रोत पर संग्रहण और ऋणात्मक दबाव बनाए रखना प्रमुख है
स्थानीय निकास वेंटिलेशन ऐसा उपकरण नहीं है जो प्रदूषक के कर्मचारी के श्वसन क्षेत्र में फैल जाने के बाद उसे पतला करे; यह संभावित रिसाव बिंदु पर ही उसे पकड़ने वाला इंजीनियरिंग नियंत्रण है। गैस कैबिनेट, वाल्व मैनिफोल्ड, चैम्बर का खुला भाग, वैक्यूम पंप निकास, न्यूनीकरण उपकरण के जोड़ और रसायन भरने के स्थान जैसे प्रत्येक संभावित उत्सर्जन बिंदु की अलग समीक्षा आवश्यक है। हुड या एनक्लोजर लगा होने पर भी यह देखना चाहिए कि दरवाज़ा खुलने या अस्थायी डक्ट जुड़ने की स्थिति में आवश्यक संग्रहण दिशा बनी रहती है या नहीं।
ब्रिटेन के हेल्थ एंड सेफ्टी एक्जीक्यूटिव की स्थानीय निकास वेंटिलेशन के डिज़ाइन और परीक्षण संबंधी HSG258 मार्गदर्शिका हुड, डक्ट, पंखे, वायु-शोधन उपकरण, दस्तावेज़ीकरण और निरीक्षण व रखरखाव अनुसूची को एक ही प्रणाली के रूप में देखती है। इस दृष्टि से महत्वपूर्ण बात यह संकेत नहीं है कि पंखा चल रहा है, बल्कि यह है कि वास्तविक परिचालन दशाओं में अभिकल्पित संग्रहण प्रदर्शन कायम है या नहीं। विभेदक दबाव या प्रवाह अलार्म की सेटिंग का आधार, सेंसर का स्थान, अंशांकन अंतराल, बाइपास संचालन की संभावना और अलार्म की स्थिति में प्रक्रिया बंद करने के तर्क को एक साथ सत्यापित करना चाहिए।
जहाँ तक संभव हो, निकास प्रणाली में निरंतर ऋणात्मक दबाव बनाए रखा जाना चाहिए और दूषित हवा को स्वच्छ क्षेत्रों या HVAC वायु प्रवेश में वापस बहने से रोका जाना चाहिए। आपूर्ति-वायु और निकास मात्रा का संतुलन, खुले दरवाज़े, निकटवर्ती उपकरणों का एक साथ संचालन, फिल्टर का जाम होना और डैम्पर की स्थिति में बदलाव—ये सभी संग्रहण प्रदर्शन को प्रभावित करते हैं। कमीशनिंग के समय एक बार मापे गए मान को ही सुरक्षित रखने के बजाय सामान्य उत्पादन, अधिकतम समकालीन भार, कम भार, आपातकालीन बंदी और रखरखाव की तैयारी की स्थितियों को दर्शाने वाले संदर्भ मान निर्धारित किए जाने चाहिए।
न्यूनीकरण उपकरण का मूल्यांकन गैस-विशिष्ट प्रदर्शन और परिचालन दशाओं से करें
एचिंग निकास के न्यूनीकरण में दहन, तापीय अपघटन, प्लाज़्मा अपघटन, गीला अवशोषण और इनके संयोजन प्रयुक्त हो सकते हैं। कोई भी विधि हो, केवल उपकरण का लगा होना पर्याप्त नहीं है। यह देखना चाहिए कि वह लक्षित गैसों और उप-उत्पादों के अनुकूल है, अभिकल्पित प्रवाह से अधिक पर नहीं चल रहा, उसे आवश्यक ईंधन, ऑक्सीकारक, पानी, रसायन और बिजली मिल रही है, और उपकरण के पहले तथा बाद का तापमान व दबाव अनुमत सीमा में है। बाइपास पाइपिंग और आपातकालीन उत्सर्जन मार्ग भी इसी स्तर के प्रबंधन के विषय हैं।
EPA की इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में फ्लोरीनयुक्त गैस न्यूनीकरण दक्षता मापने की मार्गदर्शिका बताती है कि न्यूनीकरण दक्षता को मान्य करने के लिए उपकरण को निर्माता की विनिर्दिष्ट सीमा में चलना चाहिए और वैक्यूम पंप पर्ज, ईंधन व ऑक्सीकारक, आपूर्ति तथा निकास प्रवाह व दबाव, और पानी की गुणवत्ता, प्रवाह व दबाव जैसी दशाएँ महत्वपूर्ण हैं। इसलिए स्थल-स्तरीय प्रबंधन संकेतकों में केवल चालू होने का संकेत नहीं, बल्कि वास्तविक प्रदर्शन निर्धारित करने वाले मुख्य परिचालन चर शामिल होने चाहिए।
हर गैस की विनाश या निष्कासन दक्षता समान नहीं होती और गैस मिश्रण तथा भार में बदलाव के साथ प्रदर्शन बदल सकता है। आवधिक प्रदर्शन परीक्षण में प्रतिनिधि परिचालन दशाएँ शामिल होनी चाहिए, जबकि मापन स्थान और नमूना लेने की विधि भी परिणाम को बहुत प्रभावित करती है। केवल न्यूनीकरण उपकरण के पहले और बाद की सांद्रता की तुलना करते समय प्रवाह में बदलाव और तनुकरण के प्रभाव का भी सुधार करना चाहिए। निष्कासन दक्षता के आँकड़ों को मापन दशाओं, लक्षित पदार्थ, वैधता अवधि और अनिश्चितता के साथ प्रबंधित करना चाहिए।
गीला स्क्रबर अम्लीय गैसों को अवशोषित करता है, पर इसके बदले तरल चरण में फ्लोराइड आयन, लवण और ठोस पदार्थ जमा हो सकते हैं। EPA का इलेक्ट्रिकल और इलेक्ट्रॉनिक कंपोनेंट निर्माण अपशिष्टजल का विस्तृत अध्ययन इंगित करता है कि फ्लोरीनयुक्त ग्रीनहाउस गैसों के न्यूनीकरण में प्रयुक्त गीले स्क्रबर सेमीकंडक्टर अपशिष्टजल में फ्लोराइड के स्रोतों से जुड़े हो सकते हैं। वायु प्रदूषक हटा देने पर प्रबंधन समाप्त नहीं होता; रसायन बदलने, ब्लोडाउन, स्लज, अपशिष्टजल उपचार और कचरा हस्तांतरण तक पदार्थ संतुलन को जारी रखना चाहिए।
डक्ट एक अदृश्य अभिक्रियक भी है और स्थिति का संकेतक भी
निकास डक्ट के भीतर ठंडा होना, संघनन, नमी का प्रवेश, अलग-अलग निकास धाराओं का मिश्रण और कणों का जमाव होता है। संक्षारक अम्ल बनने पर डक्ट की दीवार पतली हो सकती है और फ्लैंज व वेल्ड पर रिसाव की संभावना बढ़ सकती है। निक्षेप जमने से प्रभावी अनुप्रस्थ क्षेत्र घटता है और विभेदक दबाव बदलता है, जबकि टूटकर निकले ठोस कण पंखे या उपचार उपकरण तक पहुँच सकते हैं। कुछ मिश्रण आग या तीव्र प्रतिक्रिया का खतरा भी पैदा कर सकते हैं, इसलिए धाराओं के मिलने की संभावना की समीक्षा डिज़ाइन चरण में ही करनी चाहिए।
EPA की सेमीकंडक्टर निर्माण में वायु उत्सर्जन के आकलन की मार्गदर्शिका सेमीकंडक्टर निकास डक्ट में ज्वलनशील और स्वतः प्रज्वलित होने वाली गैसों से आग व विस्फोट के खतरे तथा क्लोरीन-आधारित एचिंग गैसों और BCl3 से बन सकने वाले हाइड्रोजन क्लोराइड जैसे उप-उत्पादों के कारण संक्षारण के खतरे—दोनों का उल्लेख करती है। इसका अर्थ है कि डक्ट को केवल परिवहन पाइप नहीं, बल्कि ऐसी प्रक्रिया इकाई माना जाना चाहिए जिसमें रासायनिक अवस्था बदल सकती है।
डक्ट की निगरानी किसी एक प्रकार के सेंसर पर निर्भर नहीं होनी चाहिए। निम्न संकेतकों को आपस में जोड़ने से असामान्य स्थिति जल्दी पकड़ी जा सकती है:
उपकरण-वार निकास प्रवाह या स्थिर दबाव और साझा हेडर में दबाव की प्रवृत्ति
फिल्टर, ट्रैप और न्यूनीकरण उपकरण के पहले व बाद का विभेदक दबाव तथा उसके बढ़ने की दर
उन खंडों का तापमान, सतह की दशा और जल-निकासी की स्थिति जहाँ संघनन या प्रतिक्रिया अपेक्षित है
संक्षारण-संवेदनशील स्थानों की मोटाई मापन के परिणाम तथा फ्लैंज, एक्सपैंशन जॉइंट और निरीक्षण पोर्ट पर रिसाव के चिह्न
गैस और ऑक्सीजन डिटेक्टरों के अलार्म, खराबी, अंशांकन और परीक्षण अभिलेख
स्क्रबर रसायन के प्रबंधन संकेतक, परिसंचरण प्रवाह, नोज़ल अवरोध और अपशिष्टजल भार में बदलाव
पंखे की धारा, कंपन, डैम्पर स्थिति और प्रक्रिया संचालन की स्थिति के बीच समयानुसार सह-संबंध
अलार्म का उद्देश्य केवल संख्याएँ एकत्र करना नहीं होना चाहिए। उदाहरण के लिए, विभेदक दबाव बढ़ने और प्रवाह घटने की एक साथ घटना पर जमाव या अवरोध की संभावना की जाँच करनी चाहिए; विभेदक दबाव अचानक गायब हो तो डक्ट टूटने या निरीक्षण पोर्ट खुला होने की संभावना देखनी चाहिए। सेंसर की खराबी और वास्तविक प्रक्रिया असामान्यता में अंतर करने के लिए स्वतंत्र पुष्टि विधि और स्थल प्रतिक्रिया प्रक्रिया तैयार रखनी चाहिए।
अवशेषों और ऊर्जा स्रोतों को अलग करने के बाद ही रखरखाव शुरू करें
निकास उपकरण के रखरखाव के दौरान सामान्य उत्पादन की तुलना में संपर्क की संभावना अधिक हो सकती है। डक्ट, पंप और स्क्रबर खोलने पर अदृश्य अवशिष्ट गैसें, संक्षारक संघनित द्रव और सूखे निक्षेप एक साथ कार्य-क्षेत्र में आ सकते हैं। केवल प्रक्रिया-बंदी संकेत पर भरोसा न करें; कच्ची गैस, पर्ज गैस, वैक्यूम, बिजली, ऊष्मा स्रोत, घूर्णन उपकरण, रसायन और जुड़ी पाइपिंग को कार्य-अनुमति के अनुसार अलग करना चाहिए। अलगाव के बाद पर्याप्त पर्ज और वेंटिलेशन, अवशिष्ट दबाव मुक्त करना और सांद्रता जाँचना आवश्यक है।
रखरखाव-पूर्व खतरा आकलन में हाल में प्रयुक्त पदार्थ, अंतिम परिचालन स्थिति, असामान्य अलार्म, न्यूनीकरण उपकरण के बाइपास की स्थिति, डक्ट सफाई का इतिहास और विश्लेषण डेटा शामिल होना चाहिए। निक्षेप की संरचना अज्ञात हो तो उसे गैर-खतरनाक धूल न मानें। नमूना लेने या खोलने की विधि तय करते समय कण फैलने और नमी से संपर्क की संभावना पर विचार करें तथा कार्य क्षेत्र अलग करने, स्थानीय संग्रहण, व्यक्तिगत सुरक्षा उपकरण, दूषित सामग्री की पैकिंग और आपात धुलाई के साधन तैयार रखें। अज्ञात सांद्रता या तुरंत खतरनाक वातावरण की संभावना वाले स्थान में सामान्य वायु-शुद्धिकरण रेस्पिरेटर पहनकर प्रवेश नहीं करना चाहिए।
NIOSH की हाइड्रोजन फ्लोराइड रसायन मार्गदर्शिका बताती है कि हाइड्रोजन फ्लोराइड आँखों, त्वचा और श्वसन तंत्र को क्षति पहुँचा सकता है, फुफ्फुसीय शोफ और जलन पैदा कर सकता है, और धातु, काँच तथा कंक्रीट पर भी हमला कर सकता है। यदि निकास तंत्र में फ्लोरीन-आधारित उप-उत्पादों की संभावना हो, तो सामग्री अनुकूलता, आपात धुलाई, संपर्क आकलन और आपात प्रतिक्रिया की अग्रिम पुष्टि करनी चाहिए। व्यक्तिगत सुरक्षा उपकरण इंजीनियरिंग नियंत्रण का विकल्प नहीं, बल्कि शेष जोखिम घटाने की अंतिम रक्षा-पंक्ति हैं।
रखरखाव पूरा होने के बाद केवल पुनः संयोजन की पुष्टि पर न रुकें। निरीक्षण पोर्ट और फ्लैंज की सीलिंग, डैम्पर की स्थिति, सेंसर की बहाली, पंखे की घूर्णन दिशा, निकास प्रवाह तथा न्यूनीकरण उपकरण की उपयोगिताओं और इंटरलॉक की जाँच के बाद चरणबद्ध रूप से पुनः संचालन करें। कार्य के दौरान मिले संक्षारण, निक्षेप, रंग परिवर्तन, रिसाव और अप्रत्याशित उप-उत्पादों को फोटो व स्थान, मोटाई या विश्लेषण परिणाम के साथ दर्ज करें और अगले निरीक्षण अंतराल व डिज़ाइन सुधार में उपयोग करें।
संचालन दल द्वारा बनाए रखा जाने वाला न्यूनतम प्रबंधन तंत्र
पहला, प्रत्येक उपकरण के रसायनों और निकास संयोजनों को नवीनतम आरेखों में बनाए रखें। प्रक्रिया परिवर्तन, गैस प्रतिस्थापन, उत्पादन मात्रा में वृद्धि, चैम्बर जोड़ने या डक्ट संगम बदलने पर निकास क्षमता और न्यूनीकरण उपकरण की उपयुक्तता का पुनर्मूल्यांकन करें। दूसरा, संग्रहण प्रदर्शन और न्यूनीकरण प्रदर्शन को अलग-अलग प्रबंधित करें। कार्यस्थल संपर्क कम होने पर भी वायुमंडलीय उत्सर्जन अधिक हो सकता है, और न्यूनीकरण उपकरण सामान्य होने पर भी उपकरण व डक्ट के बीच रिसाव हो सकता है।
तीसरा, अग्रणी और परिणाम संकेतकों को साथ देखें। प्रवाह, दबाव, तापमान, रसायन की दशा, सेंसर अंशांकन और रखरखाव की नियत तिथि ऐसे अग्रणी संकेतक हैं जो घटना से पहले बदलाव दिखाते हैं। कार्यस्थल संपर्क मापन, रिसाव घटनाएँ, न्यूनीकरण दक्षता, अपशिष्टजल में फ्लोराइड भार और संक्षारण दर वास्तविक परिणाम दिखाते हैं। दोनों प्रकार के संकेतकों में असंगति हो तो मापन स्थान या प्रबंधन तर्क की पुनर्समीक्षा करें।
चौथा, असामान्य स्थिति में अधिकार स्पष्ट करें। निकास प्रवाह घटने, स्क्रबर उपयोगिताएँ खोने, विषैली गैस का अलार्म बजने, डक्ट रिसने या अज्ञात निक्षेप मिलने पर कौन प्रक्रिया रोकेगा और कौन पुनः संचालन की अनुमति देगा, यह तय करें। उत्पादन हानि की चिंता में अलार्म को बाइपास न किया जाए, इसके लिए बाइपास अनुमति, समय सीमा, प्रतिपूरक उपाय और बहाली की पुष्टि दर्ज करें।
पाँचवाँ, स्थल प्रशिक्षण केवल गैसों के नाम याद कराने तक सीमित न हो। कर्मचारियों को निकास प्रवाह, अलार्म का अर्थ, निकासी दिशा, आपात संपर्क, आईवॉश और सुरक्षा शॉवर का स्थान तथा रखरखाव के दौरान प्रवेश नियंत्रण समझना चाहिए। उपकरण, पर्यावरण, सुरक्षा, उत्पादन और रखरखाव कर्मियों द्वारा एक ही प्रवाह आरेख के आधार पर असामान्य परिदृश्यों का अभ्यास विभागों के बीच की रिक्तियाँ कम कर सकता है।
पूरे निकास मार्ग की निरंतरता ही मूल तत्व है
डिस्प्ले एचिंग गैस की सुरक्षा किसी एक डिटेक्टर या स्क्रबर से पूरी नहीं होती। कच्ची गैसों के अलग-अलग खतरे, प्लाज़्मा उप-उत्पाद, स्रोत पर संग्रहण, ऋणात्मक-दबाव डक्ट, गैस-विशिष्ट न्यूनीकरण प्रदर्शन, तरल अपशिष्ट और रखरखाव अवशेष मिलकर एक सतत तंत्र बनाते हैं। सबसे प्रभावी प्रबंधन इस प्रवाह को आरेख और डेटा में दृश्यमान बनाता है, अभिकल्प सीमा से बाहर होने वाले बदलावों का जल्दी पता लगाता है और रखरखाव के बाद प्रदर्शन को फिर प्रमाणित करता है।
स्थल पर इन सिद्धांतों को लागू करने से पहले संबंधित सुविधा की प्रक्रिया-सुरक्षा जानकारी, सुरक्षा डेटा शीट, वैधानिक व्यावसायिक संपर्क सीमाएँ और उत्सर्जन सीमाएँ, निर्माता की परिचालन सीमाएँ तथा आपात प्रतिक्रिया योजना अवश्य देखें। यह लेख प्रबंधन सिद्धांत समझाता है; यह किसी विशिष्ट प्रक्रिया के लिए गैस संरचना, प्रवाह, बिजली, दबाव या निष्कासन दशाएँ निर्धारित नहीं करता।