“बड़े क्षेत्र” से पहले क्या जांचना चाहिए
सेमीकंडक्टर विनिर्माण उपकरण के बड़े प्रक्रिया चैंबर में सफाई, अवशेष हटाने, पुर्जे बदलने या अंदरूनी निरीक्षण के लिए किसी व्यक्ति को शरीर का हिस्सा डालना या पूरी तरह प्रवेश करना पड़ सकता है। लेकिन केवल बड़ा होने से चैंबर अपने-आप सीमित स्थान नहीं बन जाता और, इसके विपरीत, चौड़ा दरवाजा होने से वह सामान्य कार्यस्थल नहीं हो जाता। प्रवेश की पाबंदियों, मानव ठहराव के लिए न बनी संरचना, प्राकृतिक वेंटिलेशन की प्रतिकूलता और ऑक्सीजन की कमी, हानिकारक गैस, आग या विस्फोट की संभावना का वास्तविक उपकरण और कार्य दशाओं के अनुसार आकलन होना चाहिए। उस कार्यस्थल की सीमित-स्थान सूची, जोखिम आकलन, निर्माता की रखरखाव प्रक्रिया, रासायनिक जानकारी और प्रवेश-अनुमति प्रक्रिया प्राथमिक मानदंड हैं।
यह लेख स्थल की प्रक्रिया का स्थान लेने वाला कार्य-अनुमति पत्र नहीं है। हर चैंबर की स्वीकार्य सांद्रता, मापे जाने वाले पदार्थ, पर्ज की दशाएं, सुरक्षा उपकरण और बचाव विधि प्रक्रिया गैसों व उप-उत्पादों, उपकरण संरचना, कोरियाई कानून और कार्यस्थल मानकों के अनुसार बदलती हैं। यदि स्थल का कार्यक्रम प्रवेश पर रोक लगाता है या विशेषज्ञ बचाव दल की मांग करता है, तो उस निर्णय का यथावत पालन करें। काम आसान बनाने के लिए इंटरलॉक निष्क्रिय न करें और सामान्य उत्पादन स्क्रीन पर केवल `purge complete` देखकर प्रवेश न करें।
OSHA का सेमीकंडक्टर विनिर्माण मार्गदर्शन प्रक्रिया स्वचालन, प्रक्रिया बंदीकरण, LOTO, निरंतर गैस पहचान, स्वचालित गैस बंदीकरण तथा निकास और उपचार को प्रमुख जोखिम-नियंत्रण उपाय बताता है। इससे स्पष्ट होता है कि चैंबर प्रवेश की सुरक्षा किसी पोर्टेबल डिटेक्टर की एक बार की रीडिंग नहीं, बल्कि डिजाइन नियंत्रण और कार्य नियंत्रण को जोड़ने वाली व्यवस्था है।
चरण 1: पहले कार्य-सीमा और खतरनाक पदार्थ तय करें
मापनकर्ता केवल उपकरण का नाम न देखे, बल्कि इस काम से प्रभावित पूरी सीमा बनाए। चैंबर बॉडी, लोड लॉक, अपस्ट्रीम गैस लाइन, डाउनस्ट्रीम वैक्यूम पंप, स्क्रबर, निकास डक्ट, ठंडा पानी, सफाई रसायन और पास के मॉड्यूल के संबंध जांचें। पिछली रेसिपी, आखिरी बार डाली गई गैस, सफाई गैस, पर्ज गैस, प्रतिक्रिया उप-उत्पाद और रखरखाव में उपयोग होने वाले सॉल्वेंट या चिपकाने वाले पदार्थ भी सूची में रखें। सेमीकंडक्टर ड्राई एचिंग में फ्लोरीन और क्लोरीन आधारित प्रतिक्रियाशील गैसें तथा वाष्पशील उत्पाद उपयोग या उत्पन्न हो सकते हैं; इसलिए यह न मानें कि ऑक्सीजन, ज्वलनशील गैस, कार्बन मोनोऑक्साइड और हाइड्रोजन सल्फाइड के सामान्य 4 सेंसर पर्याप्त हैं।
मापन योजना में ये बातें स्पष्ट होनी चाहिए:
प्रवेश वाले स्थान और उससे जुड़े पड़ोसी स्थानों की सीमाएं
पिछली प्रक्रिया, संभावित अवशिष्ट गैसें और प्रतिक्रिया उप-उत्पाद
ऑक्सीजन, ज्वलनशील वातावरण और प्रक्रिया-विशिष्ट विषैली गैस जैसे मापन मद
हर मद के प्रवेश-अनुमति मानदंड और अलार्म सेट-पॉइंट
मापन स्थान, क्रम, नमूना समय और दोबारा मापन की दशाएं
वेंटिलेशन बंद होने, बिजली जाने या अलार्म बजने पर तत्काल बाहर निकलने के मानदंड
प्रवेशक, मापनकर्ता, कार्य-प्रभारी, निगरानीकर्ता और बचाव संपर्क व्यवस्था
यदि पदार्थ सूची में कोई ऐसा पदार्थ है जिस पर डिटेक्टर सेंसर प्रतिक्रिया नहीं करता, तो डिटेक्टर ट्यूब, विशिष्ट गैस सेंसर या विश्लेषण संस्थान द्वारा नमूना लेने जैसी अलग विधि तय करनी होगी। क्रॉस-सेंसिटिविटी, सेंसर पॉइजनिंग तथा आर्द्रता और दबाव के प्रभाव भी निर्माता के आंकड़ों से जांचें। “मापा नहीं गया” का अर्थ “मौजूद नहीं है” नहीं होता। मूल प्रश्न यह है कि क्या मापन ऐसी विधि से किया गया जो उस पदार्थ को पहचान सकती है।
चरण 2: आइसोलेशन और LOTO पूरा करने के बाद शून्य-ऊर्जा अवस्था सत्यापित करें
वातावरण का मापन ऊर्जा आइसोलेशन का विकल्प नहीं है। पहले उपकरण को निर्धारित तरीके से बंद करें, सभी खतरनाक ऊर्जा स्रोत पहचानें और उन्हें अलग कर लॉक तथा टैग करें। इसमें बिजली और RF पावर के अलावा वैक्यूम, संपीड़ित हवा, प्रक्रिया गैस, नाइट्रोजन, ठंडा पानी, हाइड्रॉलिक व न्यूमैटिक ड्राइव, हीटर, कैपेसिटर, स्प्रिंग और गुरुत्व से चलने वाले दरवाजे व लिफ्ट शामिल हैं। यह भी जांचें कि जुड़ा हुआ पड़ोसी उपकरण चैंबर में ऊर्जा या पदार्थ दोबारा तो नहीं पहुंचा सकता।
OSHA की LOTO प्रक्रिया बंदी की तैयारी, उपकरण बंद करना, ऊर्जा स्रोत अलग करना, लॉक और टैग लगाना, अवशिष्ट ऊर्जा हटाना तथा आइसोलेशन सत्यापित करना बताती है। स्थल पर केवल “वाल्व बंद” संकेत पर निर्भर न रहें; जहां संभव हो वहां ब्लाइंड, डबल ब्लॉक और ब्लीड या भौतिक डिस्कनेक्शन जैसी उपकरण-स्वीकृत विधि अपनाएं। वैक्यूम को सुरक्षित रूप से वायुमंडलीय दबाव पर लाएं, दबाव छोड़ें और गर्म हिस्सों को स्वीकार्य तापमान तक ठंडा करें। संचित विद्युत ऊर्जा के लिए निर्धारित डिस्चार्ज प्रतीक्षा समय और वोल्टेज-रहित स्थिति की पुष्टि का पालन करें।
पर्ज में प्रयुक्त नाइट्रोजन भी अपवाद नहीं है। पर्ज के दौरान आवश्यक आपूर्ति मार्ग को प्रक्रिया के अनुसार नियंत्रित करें; पर्ज पूरा होने के बाद मानव प्रवेश के समय आइसोलेशन को प्रवेश की दशाओं के अनुरूप बदलकर सत्यापित करें, ताकि नाइट्रोजन लगातार भीतर आकर ऑक्सीजन को न हटाए। कार्य-अनुमति में लिखें कि कौन-सा वाल्व और डैम्पर किस स्थिति में होगा और लॉक कौन लगाएगा व हटाएगा। सामूहिक LOTO में हर प्रतिभागी के अलग लॉक और शिफ्ट हस्तांतरण के सिद्धांत का पालन करें।
चरण 3: संख्यात्मक रीडिंग से पर्ज पूरा होने की पुष्टि करें
पर्ज समय या विस्थापन चक्रों की गणना केवल आरंभिक बिंदु है, प्रवेश की मंजूरी नहीं। चैंबर का वास्तविक आयतन, अंदरूनी बैफल और जिग, गैस इनलेट व आउटलेट की स्थिति, रिसाव और निकास प्रदर्शन ठहरे हुए क्षेत्र छोड़ सकते हैं। इसलिए निर्धारित पर्ज और वेंटिलेशन के बाद प्रवेश-द्वार के बाहर सुरक्षित स्थान से दूरस्थ नमूना लेकर अवशिष्ट वातावरण जांचें। डिटेक्टर भीतर करने के लिए चेहरा या धड़ चैंबर में डालना स्वयं प्रवेश माना जा सकता है।
पर्ज सत्यापन में इन प्रश्नों के उत्तर मिलने चाहिए:
क्या सामान्य पर्ज क्रम बिना त्रुटि पूरा हुआ?
क्या गैस आपूर्ति बंदीकरण और निकास मार्ग स्थल पर जांचकर सत्यापित हुए?
क्या पोर्टेबल मापन परिणाम प्रवेश-अनुमति मानदंडों के भीतर हैं?
क्या सभी प्रक्रिया-विशिष्ट लक्ष्य पदार्थ मापे गए?
क्या मापन ने संभावित ठहराव स्थानों और कर्मचारी के वास्तविक श्वसन क्षेत्र का प्रतिनिधित्व किया?
क्या वेंटिलेशन रुकने या अवशेष हिलने के बाद भी दशाएं कायम रहती हैं?
NIOSH के सेमीकंडक्टर संबंधी एक स्थल आकलन में प्रयुक्त फिल्टर वाले बंद पात्र के अंदर समय के साथ हाइड्रोजन, कार्बन मोनोऑक्साइड, कार्बन डाइऑक्साइड और सिलेन से जुड़े संकेत मिले थे। यह उदाहरण किसी खास चैंबर की सांद्रता का अनुमान नहीं देता, लेकिन चेतावनी देता है कि प्रक्रिया पूरी होने या पदार्थ के अपशिष्ट चरण में जाने के बाद भी बाद की प्रतिक्रिया और ऑफ-गैसिंग वातावरण फिर बदल सकती है। इसी कारण पर्ज के तुरंत बाद की एक सामान्य रीडिंग पूरे लंबे रखरखाव कार्य की गारंटी नहीं देती।
चरण 4: उपकरण की स्थिति और नमूना-विलंब जांचें
मापन उपकरण लक्ष्य गैस और संभावित सांद्रता सीमा के अनुकूल हो तथा स्थल प्रक्रिया की कैलिब्रेशन अवधि पूरी करता हो। उपयोग से पहले बाहरी दशा, बैटरी, सेंसर की समाप्ति तिथि, फिल्टर, पंप और होज में रुकावट या रिसाव जांचें और निर्माता निर्देश के अनुसार फंक्शन टेस्ट करें। फंक्शन टेस्ट यह देखता है कि सेंसर और अलार्म गैस पर प्रतिक्रिया करते हैं या नहीं; यह सटीकता समायोजित करने वाला कैलिब्रेशन नहीं है। विफल उपकरण उपयोग न करें और निर्धारित प्रक्रिया से उसे कैलिब्रेट या मरम्मत कराएं।
लंबी सैंपलिंग होज से हवा को सेंसर तक पहुंचने में अधिक समय लगता है। होज की लंबाई और पंप प्रवाह से निकले परिवहन समय में सेंसर प्रतिक्रिया समय जोड़ें और हर बिंदु पर कम से कम उतनी देर स्थिर रीडिंग की प्रतीक्षा करें। यह भी जांचें कि होज की सामग्री लक्ष्य पदार्थ को सोखती या उससे प्रतिक्रिया तो नहीं करती। पहले बिंदु की हवा होज में रहकर अगले बिंदु की रीडिंग न बिगाड़े, इसलिए बिंदुओं के बीच पर्याप्त फ्लश करें। वास्तविक सांद्रता, मापन समय, स्थान, उपकरण संख्या, मापनकर्ता और वेंटिलेशन की स्थिति अनुमति-पत्र में लिखें।
OSHA वातावरण मापन के उद्देश्यों में जोखिम आकलन और प्रवेश दशा सत्यापन को अलग करता है और बताता है कि रीडिंग को अनुमति-पत्र में मानदंड के पास वास्तविक संख्या के रूप में लिखा जाए। केवल “सामान्य” या “कोई असामान्यता नहीं” लिखने से प्रवृत्ति और सीमा के करीब पहुंचने का आकलन कठिन हो जाता है।
चरण 5: ऊपर, बीच, नीचे और ब्लाइंड स्पॉट को दूर से मापें
एक बिंदु का मापन बड़े चैंबर का प्रतिनिधित्व शायद ही कर सके। गैस का सापेक्ष घनत्व वितरण को प्रभावित करता है, लेकिन तापांतर, बलपूर्वक वेंटिलेशन, अंदरूनी संरचना, रिसाव का स्थान, प्रतिक्रिया की गर्मी और कार्य गतिविधि भी परतें तथा स्थानीय उच्च सांद्रता बनाते हैं। इसलिए स्थानों को “भारी गैस नीचे, हल्की गैस ऊपर” तक सीमित न करें। कम से कम ऊपरी, मध्य और निचला भाग मापें तथा बैफल के पीछे, फर्श की जेब, निकास के विपरीत तरफ, गैस इनलेट के आसपास, पंप कनेक्शन और कर्मचारी के कार्यस्थल जैसे संभावित ठहराव बिंदु जोड़ें।
अनुशंसित क्रम प्रवेश-द्वार के बाहर निकटतम बिंदु से शुरू होकर योजनाबद्ध ग्रिड में भीतर की ओर बढ़ना है। ऊर्ध्वाधर प्रवेश या परत बनने की संभावना वाले स्थान में आगे बढ़ने की दिशा के सामने और दोनों ओर क्रमशः जांचें। OSHA परिशिष्ट B परत बन सकने वाले वातावरण में गति की दिशा से लगभग 1.22 मीटर आगे और दोनों ओर की हवा जांचने तथा प्रोब नमूना गति व उपकरण प्रतिक्रिया समय के अनुसार प्रवेश की गति धीमी रखने को कहता है। बड़े चैंबर में इस सिद्धांत को उपकरण की आकृति के अनुसार अधिक सघन बिंदु योजना में बदलना चाहिए।
मापन का क्रम ऑक्सीजन, ज्वलनशील गैस या वाष्प और फिर विषैले पदार्थ होना चाहिए। ऑक्सीजन कम होने पर कुछ ज्वलनशील गैस सेंसर की रीडिंग अविश्वसनीय हो सकती है और आग या विस्फोट का खतरा तत्काल होता है। इसका अर्थ यह नहीं कि एक सेंसर पहले सामान्य मिले तो दूसरे सेंसर की तैयारी छोड़ दी जाए। सभी लक्ष्य मद अनुमति मानदंड पूरे करें और प्रक्रिया-विशिष्ट विषैले पदार्थ का मूल्यांकन उसकी विशेषताओं और मापन विधि के अनुसार हो। केवल सामान्य ऑक्सीजन रीडिंग वातावरण को सुरक्षित नहीं बनाती।
चरण 6: वेंटिलेशन की दशा में दोबारा जांचें और प्रवेश के बाद निरंतर निगरानी करें
दूरस्थ पूर्व-मापन स्वीकार्य होने पर भी वास्तविक काम वातावरण बदल सकता है। अवशेष खुरचने या पुर्जे खोलने से फंसे पदार्थ निकल सकते हैं; सफाई एजेंट, वेल्डिंग, चिपकाना और गर्म करना नए वाष्प व गैस पैदा करते हैं। कर्मचारी का शरीर या औजार वेंटिलेशन डक्ट ढक दे, या एग्जॉस्ट फैन की बिजली कट जाए, तब भी दशाएं बदलती हैं। इसलिए स्थल अनुमति प्रक्रिया में निर्धारित वेंटिलेशन विन्यास पर फिर मापें और प्रवेश भर निरंतर निगरानी को मूल व्यवस्था बनाएं।
निरंतर मॉनिटर कर्मचारी के वास्तविक श्वसन क्षेत्र या उस स्थान पर रखें जहां खतरा पहले उभरेगा। बड़े स्थान में व्यक्तिगत डिटेक्टर को स्थिर या मोबाइल क्षेत्रीय डिटेक्टर के साथ उपयोग करके स्थानीय और समग्र दोनों बदलाव पकड़े जा सकते हैं। बाहरी निगरानीकर्ता के लिए दिखने वाला दूरस्थ डिस्प्ले और श्रव्य, दृश्य व कंपन अलार्म जांचें। डेटा रिकॉर्ड अवधि, प्री-अलार्म स्तर की प्रतिक्रिया, सेंसर सीमा पार संकेत और संचार टूटने की कार्रवाई पहले तय करें।
इन स्थितियों में काम तुरंत रोकें, ऊर्जा पर निर्भर न रहने वाले सुरक्षित मार्ग से बाहर निकलें और अनुमति का पुनर्मूल्यांकन करें:
ऑक्सीजन, ज्वलनशील या विषैला मद अनुमति मानदंड से बाहर जाए या प्रवृत्ति तेजी से बदले
डिटेक्टर विफल हो, पंप रुके, सेंसर सीमा पार हो या संचार टूटे
बलपूर्वक वेंटिलेशन रुके, निकास असामान्य हो या अप्रत्याशित गंध, धुंध या रिसाव दिखे
कार्य सामग्री, प्रयुक्त पदार्थ, प्रवेशकर्ताओं की संख्या या आइसोलेशन की स्थिति बदले
प्रवेशक में चक्कर, सिरदर्द, जलन, निर्णय क्षमता घटना या अन्य असामान्य लक्षण आएं
अलार्म के बाद वेंटिलेशन से रीडिंग लौट आने पर तुरंत दोबारा प्रवेश न करें। कारण खोजें, आइसोलेशन और मापन योजना फिर देखें और मौजूदा अनुमति रद्द या दोबारा जारी करने का निर्णय स्थल प्रक्रिया के अनुसार लें।
चरण 7: निगरानीकर्ता और बचाव की तैयारी पूरी होने पर ही अनुमति वैध है
निगरानीकर्ता केवल रिकॉर्ड लिखने वाला नहीं है। उसे प्रवेशकर्ताओं की सूची और स्थान मालूम हों, संचार बनाए रखे, अंदर-बाहर की दशाओं और गैस रीडिंग पर नजर रखे, असामान्यता में बाहर निकलने का निर्देश दे और आपात व्यवस्था सक्रिय करे। निगरानीकर्ता को उत्पादन सहायता या सामग्री ढुलाई जैसे ध्यान बांटने वाले काम साथ न दें। प्रवेश-द्वार पर अनधिकृत प्रवेश रोकने का नियंत्रण और चेतावनी संकेत हो; शिफ्ट बदलते समय लोगों, रीडिंग, आइसोलेशन और अनुमति की स्थिति साफ-साफ सौंपी जाए।
बचाव योजना केवल “119 पर फोन करें” की एक पंक्ति पर समाप्त नहीं होती। चैंबर प्रवेश-द्वार के आकार और दिशा, अंदरूनी बाधाओं, प्रवेशकर्ता के सुरक्षा उपकरण, संभावित खतरनाक पदार्थ और बचाव दल के पहुंचने के समय के आधार पर बिना प्रवेश बचाव की संभावना और आवश्यक रिकवरी उपकरण तय करें। पुष्टि करें कि बचाव दल या बाहरी बचाव सेवा के पास उस चैंबर में वास्तव में बचाव करने की क्षमता और समयबद्धता है, तथा संपर्क साधन और प्रवेश मार्ग जांचें। उपकरण उपलब्ध होने पर भी यदि उसे कर्मचारी से जोड़ा न जा सके या वह अंदर की संरचना में अटक जाए तो वह प्रभावी नहीं है।
NIOSH चेतावनी देता है कि अप्रशिक्षित सहकर्मी बचाव की कोशिश में साथ बेहोश होने वाले हादसे बार-बार होते हैं। निगरानीकर्ता को तत्काल निर्णय लेकर चैंबर में प्रवेश नहीं करना चाहिए। अंदरूनी बचाव केवल प्रशिक्षित लोग उचित श्वसन सुरक्षा, मापन उपकरण, बचाव उपकरण और कमान व्यवस्था के साथ करें। दल आने तक उपयोग होने वाली बिना प्रवेश रिकवरी विधि से प्रवेशकर्ता के फंसने या दबने का जोखिम तो नहीं बनेगा, यह भी काम से पहले देखें।
अंतिम मंजूरी से पहले 10 मद की जांच
क्या नवीनतम जोखिम आकलन से इस चैंबर की सीमित-स्थान स्थिति और अनुमति श्रेणी की पुष्टि हुई है?
क्या पिछली प्रक्रिया गैस, उप-उत्पाद, सफाई पदार्थ और पास के उपकरणों के खतरे भी सूचीबद्ध हैं?
क्या बिजली, RF, गर्मी, वैक्यूम, दबाव, गैस, ड्राइव और अवशिष्ट ऊर्जा पर LOTO लगाकर सत्यापन हुआ है?
क्या केवल पर्ज-पूर्ण संकेत नहीं, बल्कि वास्तविक बहु-बिंदु सांद्रता से अवशिष्ट वातावरण जांचा गया है?
क्या डिटेक्टर सभी लक्ष्य पदार्थ पहचान सकता है और उसका फंक्शन टेस्ट व कैलिब्रेशन वैध है?
क्या होज परिवहन समय और सेंसर प्रतिक्रिया समय जोड़कर हर स्थान पर पर्याप्त प्रतीक्षा की गई है?
क्या ऊपर, बीच, नीचे, कर्मचारी का श्वसन क्षेत्र, ठहराव क्षेत्र और कनेक्शन मापे गए हैं?
क्या काम के दौरान निरंतर निगरानी, वेंटिलेशन कायम रखने और अलार्म पर तुरंत बाहर निकलने के मानदंड तैयार हैं?
क्या समर्पित निगरानीकर्ता, संचार, प्रवेशकर्ता प्रबंधन और शिफ्ट हस्तांतरण तैयार हैं?
क्या बचाव दल की क्षमता, पहुंचने का समय और उपकरण जांचे गए और वास्तविक चैंबर दशाओं में प्रशिक्षण हुआ है?
बड़े चैंबर में प्रवेश का मूल उद्देश्य एक बार अच्छी संख्या पाना नहीं है। पहले खतरे के स्रोत अलग करना, पूरे स्थान में पर्ज परिणाम सत्यापित करना, काम के दौरान बदलाव लगातार देखना और विफलता पर किसी अन्य व्यक्ति को अधिक खतरे में न डालने वाली बचाव व्यवस्था तैयार करना जरूरी है। इस कड़ी का एक भी हिस्सा अपुष्ट हो तो मापन प्रक्रिया पूरी नहीं है और प्रवेश-अनुमति रोक दी जानी चाहिए।